CHRocodile 2S

プレシテックの2Sシリーズは、分光干渉法を利用した非接触の厚み測定用センサでです。
Siでは最小0.5umまでの厚みが測定できるので、薄膜測定に適しています。
高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ・フィルム・コーティング・エアギャップなどの厚み測定・検査などに使用されています。その他の特長は、幅広い測定範囲 、大きな許容角度、様々な材質に対応できることです。