CHRocodile CLS2

非接触光学式ラインセンサCLSです。高精度・高速に３次元形状測定ができます。
ウエハエッジや斜面へ最適な高許容角度性。ウエハエッジ、バンプ測定など多数実績があります。
CLS2は、最大40kHzで1ラインあたり1200点の同時測定を実現できます。分解能も最大Y1um, Z 0.025um。
卓上機だけでなく、In-Situ/モニタリング/インラインでの装置組込み用センサとしても使用可能。