共焦点センサ confocalDTシリーズ

高速高精度のクロマティック共焦点センサは最大30kHzの測定レート、<10nm分解能を誇る光学式センサです。コンパクトなセンサヘッドや、広いワーキングディスタンスのモデル等、様々なセンサヘッドから選定することが出来ます。超高真空環境内で使用できるセンサもスタンダードご用意。Mide in Germanyですが、豊富に在庫を持つことにより、短納期で納品可能となっております。世界の半導体製造装置に多く搭載されている信頼のセンサをお届けします。